软件说明
设备软件-半导体设备控制软件开发/运行平台DSPICE
DSPICE是强实时控制系统快速开发/运行平台，提供与设备具体业务无关的、支撑层面的功能：通信、错误处理、跟踪、机器常数等。 同时，它成熟的适合复杂、多子系统、超精密控制的高端设备控制系统框架，分为如下层次： Abstraction Layer / Facility Layer / Basic Tools Layer / System Control Layer / Metrology Layer / Logical Action Layer / Synchronization Control Layer / Subsystem Control Layer / Retrol Layer / Test Software Layer。
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