设备软件-半导体设备控制软件开发/运行平台DSPICE

DSPICE是强实时控制系统快速开发/运行平台,提供与设备具体业务无关的、支撑层面的功能:通信、错误处理、跟踪、机器常数等。 同时,它成熟的适合复杂、多子系统、超精密控制的高端设备控制系统框架,分为如下层次: Abstraction Layer / Facility Layer / Basic Tools Layer / System Control Layer / Metrology Layer / Logical Action Layer / Synchronization Control Layer / Subsystem Control Layer / Retrol Layer / Test Software Layer。

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