设备软件-半导体设备软件平台SEPlat

SEPlat是基于半导体设备通信、控制和集成的软件平台,该软件平台为满足半导体设备供应商工厂产线自动化生产的需要,而提供的一套技术解决方案和软件框架。 SEPlat实现了SEMI标准的SECS/GEM和GEM300标准集,满足半导体行业工厂/设备的全自动化生产控制功能;并通过EDA标准接口,可实现与EAP、SCADA(或IIoT)、MES等工厂控制和信息系统的集成。 SEPlat软件平台的主要特点: 1、符合SEMI标准的运行及开发环境:符合SEMI标准的SECS/GEM、GEM300和EDA标准集; 2、跨操作系统的运行平台,跨编程语言的开发框架:可运行在Linux和Windows操作系统;开发框架支持C/C++、C#、Python和Java几种编程语言(选用开源第三方中间件); 3、适配国产化软硬件环境:支持国产服务器和PC机(国产CPU),可运行在国产和Java几种编程语言(选用开源第三方中间件)。 SEPlat软件平台的产品模块: 1、SECSConnect:实现基于远程命令的半自动生产控制与设备监控功能; 2、GEM300Connect:在GEMConnect基础上,满足工厂全自动化生产场景下的生产控制与设备监控功能; 3、EDAConnect:与工厂产线EAP系统以及数据服务系统进行通信,为工厂收集设备的大量、高速数据提供收集通道。

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