Calibre MDPmerge能够实现从物理验证和分辨率增强技术(RET)到完成掩模数据准备的连续流程。Calibre Break以VSB11格式生成单独的图案文件,优化了最快的掩模写入和严格的CD控制后,Calibre MDPmerge为整个芯片组装了一个工作平台
Calibre MDPmerge能够实现从物理验证和分辨率增强技术(RET)到完成掩模数据准备的连续流程。Calibre Break以VSB11格式生成单独的图案文件,优化了最快的掩模写入和严格的CD控制后,Calibre MDPmerge为整个芯片组装了一个工作平台