Calibre nmOPC是第三代光学邻近校正(OPC)工具,它扩展了分辨率增强技术(RET)产品的口径库,用于亚65纳米(nm)工艺技术。Calibre nmOPC工具和配套的OPC验证工具Calibre OPCverify以业界最高的性能和最低的拥有成本提供了卓越的模拟精度,开创了计算光刻技术的新时代
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