TCAD是建立在半导体物理基础之上的数值仿真工具,它可以对不同工艺条件进行仿真,取代或部分取代昂贵、费时的工艺实验;也可以对不同器件结构进行优化,获得理想的特性;还可以对电路性能及电缺陷等进行模拟。技术进步伴随着设计复杂性的增加,导致了TCAD软件功能及其使用越来越复杂。
TCAD是建立在半导体物理基础之上的数值仿真工具,它可以对不同工艺条件进行仿真,取代或部分取代昂贵、费时的工艺实验;也可以对不同器件结构进行优化,获得理想的特性;还可以对电路性能及电缺陷等进行模拟。技术进步伴随着设计复杂性的增加,导致了TCAD软件功能及其使用越来越复杂。